电学薄膜的种类

 电学薄膜
①半导体器件与集成电路中使用的导电材料与介质薄膜材料Al、Cr、 Pt、Au、多晶硅、硅化物、SiOj、Si3N4、A12Q3等的薄膜。
②超导薄膜特别是近年来国内外普遍重视的高温超导薄膜，例如 YBaCuO系稀土元素氧化物超导薄膜以及BiSiCaCuO系和TlBaCuO系非稀土 元素氧化物超导薄膜。
③光电子器件中使用的功能薄膜特别是近年来开发研究成功的GaAs/ GaAlAs、HgTe/CdTe. a-Si:H、a-SiGe:H、a-SiC:H、a-SiN： H, a-Si/a-SiC 等一 系列晶态与非晶态超晶格薄膜。
④薄膜敏感元件与固态传感器例如SnO：薄膜可燃性气体传感器、ZiOj 薄膜氧敏传感器、薄膜应变电阻与压力传感器、Pl、Ni等金属薄膜与Co«Mn- Ni等氧化物薄膜及SiC薄膜的热敏电阻和Si3N4、Ta205薄膜的离子敏传感器 等o
⑤薄膜电阻、薄膜电容、薄膜阻容网络与混合集成电路例如用Ni-Cr 系列低电阻率和Cr>SiO系列髙电阻率的金属膜电阻；以涤纶薄膜或聚丙烯 薄膜为基材（介质），以镀铝膜或镀铸膜为电极制造的薄膜电容等。
⑥薄膜太阳能电池特别是非晶硅、CuInSe2和CdSe薄膜太阳电池。
⑦平板显示器件液晶显示、等离子体显示和电致发光显示三大类平板 显示器件所用的透明导电电极（氧化铟锡薄膜)。特别是薄膜电致发光屏是 一种多层功能薄膜（包括氧化铟锡透明导电膜，Y203、Ta205等介质膜，ZnS :Mn等发光膜，A1电极膜等）组成的全固态平板显示器件。
⑧用ZnO、Ta205、A1N等薄膜制成的声表面波滤波器。
⑨磁记录薄膜与薄膜磁头如用于高质量录音和录像的磁性材料薄膜录 音带与录像带；用于计算机数据储存的CoCrTa、CoCrNi等的薄膜软盘和硬 盘；用于垂直磁记录中FeSiAl薄膜磁头等。
⑩静电复印鼓用的Se-Te、SeTeAs合金膜及非晶硅薄膜。